Optoelektronik-Glas

OPTO-ELEKTRONIK-GLÄSER

Anodisches Haftglas (SD2)

Die Wärmeausdehnungseigenschaften entsprechen einem Silizium-Einkristall. Daher kann eine anodische Bindung mit geringer Verzerrung über einen weiten Temperaturbereich durchgeführt werden.

Eigenschaften

  1. Thermische Ausdehnungseigenschaften entsprechen einem Silizium-Einkristall
    Durch Auswahl einer Glaszusammensetzung vom Aluminiumsilikat-Typ (SiO2-Al2O3-Na2O-Typ) wird die thermische Ausdehnung über einen weiten Temperaturbereich an Silizium-Einkristall angepasst.
  2. Einfaches anodisches Binden
    Der spezifische Volumenwiderstand wird durch Zugabe einer kleinen Menge Na verringert, so dass eine Glaszusammensetzung entstanden ist, die auch bei Temperaturen von 400 °C oder niedriger eine starke Bindung eingehen kann.
  3. Stabile Qualität
    Die Abweichung der Wärmeausdehnungseigenschaften zwischen den Produktionslosen ist sehr klein und stabil.
  4. Gut zu verarbeiten
    Kann mit einer wässrigen Fluorwasserstoffsäurelösung niedriger Konzentration geätzt werden, und die geätzte Oberfläche wird zu einer Spiegelfläche.

Anwendungsbeispiel

  • 1) Halbleiter-Drucksensorsubstrat
  • 2) Beschleunigungssensorsubstrat
  • 3) Düsenteil eines Tintenstrahldruckers
  • 4) Glas für Mikrobearbeitungs-Bindung

Charakteristik

Element Einheit SD2 Bemerkungen
Thermische Eigenschaften
Wärmeausdehnungskoeffizient X10-7/ºC 32 30 - 300 ºC (Wärmeausdehnungsmesser)
X10-7/ºC 33 30 - 350 ºC (Wärmeausdehnungsmesser)
X10-7/ºC 34 30 - 400 ºC (Wärmeausdehnungsmesser)
X10-7/ºC 35 30 - 450 ºC (Wärmeausdehnungsmesser)
X10-7/ºC 36 30 - 500 ºC (Wärmeausdehnungsmesser)
Dehnungspunkt ºC 670 1014,5Poise
Transformation (Tg) ºC 720
Senkungspunkt (Ts) ºC 785
Mechanische Eigenschaften
Relative Dichte 2,60
Elastizitätsmodul GPa 87
Steifigkeitsmodul GPa 35
Querdehnungszahl 0,24
Knoop-Härte   638
Abriebfaktor 44
Chemische Widerstandsfähigkeit
HN03-Widerstand mg/cm2 0,08 *1
H2S04-Widerstand mg/cm2 <0,01 *2
NaOH-Widerstand mg/cm2 <0,01 *3
Optische Eigenschaften
Reflexions-
Index
(Nd) 1,531
Abbe-Zahl (vd) 59
Elektrische Eigenschaften
Dielektrischer Verlust (tand) 0,010 20 ºC 1 MHz
(tand) 0,019 100 ºC 1 MHz
(tand)

0,049

200 ºC 1 MHz
Dielektrischer Koeffizient 6 20 ºC 1 MHz
7 100 ºC 1 MHz
7 200 ºC 1 MHz
Volumenwiderstand X1012O·m 4,1 20 ºC DC 500 V 1 Minute
X1010O·m 0,4 100 ºC DC 500 V 1 Minute
X107O·m 3,8 200 ºC DC 500 V 1 Minute
*1
Angabe in mg/cm2 Gewichtsreduktion pro Flächeneinheit, wenn eine polierte Glasprobe von 43,7 mm Durchmesser (30 cm2 auf beiden Seiten) und 5 mm Stärke in gut gerührte 80 °C heiße 30 %ige wässrige HNO3-Lösung für 50 Stunden eingetaucht wurde.
*2
Angabe in Gewichtsreduktion mg/cm2 pro Flächeneinheit, wenn eine polierte Glasprobe mit einem Durchmesser von 43,7 mm (30 cm2 auf beiden Seiten) und einer Stärke von 5 mm in gut gerührte 80 ºC heiße H2SO4 getaucht wurde. HNO3: H2O = 1:1:1 wässrige Lösung für 50 Stunden.
*3
Angabe in Gewichtsreduktion mg/cm2 pro Flächeneinheit, wenn eine polierte Glasprobe mit einem Durchmesser von 43,7 mm (30 cm2 auf beiden Seiten) und einer Stärke von 5 mm 15 Stunden in gut gerührte 50 ºC heiße wässrige NaOH-Lösung 0,00 N getaucht wurde.